미세화될수록 내면 검사가 중요해진다!081180

• 01HBM 미세화로 내부 결함 검사 수요↑, 3–5μm급 인라인 장비 매출이 27년 본격화 가능
• 02Hybrid Open Tube 개발과 X-ray Damage 저감 특허로 경쟁우위 확립
• 03연내 테스트 퀄 통과 여부가 매출 타이밍 결정 변수, 27년 매출 성장 가능성 확대

본문

[한 줄 결론]

HBM 미세화로 X-ray 기반 내면(접합부 내부/적층·TSV) 검사의 필요성이 확대되는 가운데, 동사의 Hybrid Open Tube 및 X-ray Damage 저감 기술 경쟁력과 3~5μm급 인라인 검사장비 테스트 성과가 26년 하반기~27년 본격 매출로 이어질 가능성이 큽니다.

[핵심 포인트]

• HBM 단층 상향과 Bump Pitch 미세화로 적층·TSV·접합부 내부 결함 확인 수요가 커지며, 광학검사는 내부 상태 확인에 제한이 있고 초음파검사는 고적층 및 미세 피치 검사에 한계가 있어 X-ray 검사 필요성이 확대됩니다.

• 동사는 세계 최초 Hybrid Open Tube를 개발해 Close Tube의 장수명과 Open Tube의 고정밀 기술을 동시에 확보했으며, X-ray Damage 저감 기술 특허 등록을 완료해 경쟁사 대비 비교우위가 있다고 판단됩니다.

• 12년 수동 HBM용 X-ray 검사장비 납품을 시작했고 15년 25μm급 사업화를 진행했으며, 인라인 HBM/WLP 공정 검사장비(3~5μm급) 개발 완료 후 국내외 고객사 테스트를 검토 중으로 연내 테스트 결과 확인 시 퀄 통과 후 26년 하반기 또는 27년부터 납품이 본격화될 것으로 기대됩니다.

[투자 시사점]

연내 고객사 테스트에서 퀄 통과 여부가 매출 타이밍을 좌우할 핵심 변수가 될 수 있습니다. 반대로 3~5μm급 인라인 장비의 신뢰성·수율(내면 결함 검출 성능)과 더불어 HBM TSV/Hybrid Bonding 및 유리기판 TGV/PLP 검사장비까지 확장되면 27년 매출 성장 기대가 커질 수 있습니다.